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多晶硅生产工艺配方制造制备技术专利大全
多晶硅生产工艺配方制造制备技术专利大全01、一种太阳能电池用高纯多晶硅的制备方法和装置02、一种制备太阳能级多晶硅的方法03、形成多晶硅薄膜的方法及用该方法制造薄膜晶体管的方法04、用于多晶硅低温结晶化的金属…
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多晶硅生产工艺系列专利技术
多晶硅生产工艺系列专利技术1、15-50纳米线宽多晶硅栅的刻蚀方法2、70纳米多晶硅栅刻蚀-氟化+反应离子刻蚀方法3、N型掺杂多晶硅的制造方法4、半导体电路制造的多层多晶硅瓦片结构5、半导体器件及制作一低温多晶硅层的…
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