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国外最新硅片制造技术专利
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国外最新硅片制造技术专利

1 硅片的制造方法和硅片(日本-26页)
 2 硅片及硅单晶的制造方法(日本-22页)
 3 基本无生长缺陷的外延硅片(美国-58页)
 4 单晶硅片抗机械力的提高(法国-10页)
 5 用来洗涤硅片的方法(美国-12页)
 6 控制重掺锑或砷的硅片中氧含量的方法和装置(美国-20页)
 7 硅片的制造装置(日本-23页)
 8 一种制造硅片的方法(韩国-8页)
 9 憎水性硅片的清洗方法(美国-18页)
 10 处理薄晶体硅片和晶体硅太阳能电池的方法(德国-13页)
 11 硅片热处理的方法(美国-19页)
 12 硅片曝光设备自动装片台的支承单元(荷兰-7页)
 13 各向异性腐蚀硅片的改进方法与硅片腐蚀溶液(美国-12页)
 14 六方的碳化硅片晶和预型件以及制备和使用它们的方法(美国-26页)
 15 制磷掺杂源用的掺杂组合物及掺杂硅片的方法(美国-13页)
 16 一种用于对准掩膜和硅片的相关位置的方法及实现该方法的装置(日本-24页)

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